溫度補償：涂覆層厚度的測量受溫度影響非常大。同一工件在不同溫度下測量會得出很大的誤差。所以好的測厚儀應(yīng)該具備理想的溫度補償技術(shù)，以保證不同溫度下的測量精度。

無需校準：多數(shù)測厚儀除了校零外，還需要用標準片進行調(diào)校。測量某一范圍厚度，要用某一范圍的標 準片調(diào)校。主要是不能滿足全范圍內(nèi)的線性精度。不僅操作煩瑣，而且也會因標準片表面粗糙失效，增大系統(tǒng)誤差

零位穩(wěn)定：所有涂層測厚儀測量前都要求校準零位，可以在隨儀器的校零板或未涂覆的工件上校零。   儀器零位的穩(wěn)定是保證測量準確的前提。一臺好的測厚儀校零后，可以長時間保持零位不漂移，確保準確測量。

測量：將儀器探頭垂直接觸被測物的表面，儀器將自動開機并測得數(shù)據(jù)。注意：測量時務(wù)必要使探頭垂直接觸被測物表面、并壓實，每測量一次后將儀器拿起，離開被測物10?以上，再進行下一點測量。

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Fe：測量鐵磁性基體模式NFe：測量非磁性基體模式Err：操作失誤

INFI：探頭模式與被測基體不符（見第八項，第二點）BAT：電量不足，需換電池