PGI840型粗糙度輪廓儀結(jié)構(gòu)說明

Form Talysurf PGI 840型粗糙度輪廓儀有一200mm水平 行程的驅(qū)動箱，該驅(qū)動箱可沿立柱在450mm范圍內(nèi)垂直移動，以適應(yīng)不同高度工件的測量。驅(qū)動箱內(nèi)帶有很高直線度精度的水平基準(zhǔn)，以保證測量精度。驅(qū)動箱下帶有PGI型傳感器，該傳感器具有大的量程和很高的分辨率。傳感器上帶有測針，測量時(shí)，測針在工件表面接觸并水平方向移動，測針的上下擺動量通過傳感器傳入電箱和計(jì)算機(jī)，由計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行分析，并將結(jié)果通過打印機(jī)進(jìn)行打印。儀器各軸的移動可通過操縱桿或計(jì)算機(jī)控制。

精密加工機(jī)器，比如單點(diǎn)金剛石車床，使得對公差要求很小的非球面鏡頭的加工成為可能，波前相差也降低到微不足道的數(shù)值。為了獲得這種高水平的精度，必須有相應(yīng)水準(zhǔn)的計(jì)量。FormTalysurf PGI840具有所需要的各種功能，該測量系統(tǒng)的測量結(jié)果可直接輸入到機(jī)床中，進(jìn)而形成“反饋循環(huán)"。系統(tǒng)的低噪音(RMS僅為2nm)為市場提供了**的光學(xué)表面的測量能力。Form Talysurf PGI 840型粗糙度輪廓儀是一臺英國泰勒霍普森公司生產(chǎn)的專門用于各種光學(xué)零部件表面的形狀誤差測量和粗糙度分析，包括:平面、球面、非球面以及衍射光學(xué)表面輪廓測量。該系統(tǒng)具有與大多數(shù)光學(xué)加工設(shè)備接口能力，可以將測量數(shù)據(jù)應(yīng)用于加工設(shè)備的優(yōu)化處理。其主要功能如下:

       (1)形狀誤差測量，包括非球面形狀誤差測量、直線形狀誤差(直線度)和圓弧。
       (2)輪廓測量，包括半徑和角度分析;
       (3)表面粗糙度測量。

FORM TALYSURF PGI 840型粗糙度輪廓儀技術(shù)指標(biāo)

1.掃描箱
(1)測量行程:  0.1mm-200mm
(2)驅(qū)動:  可使用操縱桿或計(jì)算機(jī)驅(qū)動
(3)移動/測量速度:  0.1/0.25/0.5/1.0/10.0mm/秒
(4)數(shù)據(jù)采樣間隔(X):  0.1-15mm測量長度時(shí)0.125μm
                             15- 30mm測量長度時(shí)0.25μm
                            30-200mm測量長度時(shí)1μm
(5)直線度: 0.11μm/200mm

2.機(jī)動立柱
(1)材料:環(huán)氧花崗巖
(2)掃描箱移動高度: 450mm
(3)驅(qū)動: 可使用操縱桿或計(jì)算機(jī)驅(qū)動
(4)垂直移動速度: 0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒
3.基座、支架和防震支撐.
(1)工作臺材料: 環(huán)氧花崗巖
(2)工作臺尺寸: 760 X 500 X 120mm
(3)充氣防震支承，不要求有外接氣源。工作臺臺而上有兩個(gè)T型槽
4.傳感器
(1)類型:  位相光柵干涉(PGI)
(2)測量量程(Z):  8mm (使用60mm長測桿)
(3)分辨率: 8mm量程時(shí)0.8nm
(4)量程與分辨率之比: 10,000,000:1
(5)測量力: 使用60mm長2μm錐形金剛石測頭時(shí)為1mN